返回上页 - 刻蚀硅材料
服务收费：校外600元/小时 校内300元/小时
开放时间：学校正常上班时间
服务内容：ICP离子源：0-3000W RF射频源：0-600W装片系统：六英寸，向下兼容 基底刻蚀温度：0℃-200℃可调。 刻蚀气体：SF6、C4F8、O2、A…
浙江省光电磁传感技术研究重点实验室
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