刻蚀硅材料 联系人： 时尧成 电话： 88206516转113 邮件： yaocheng@zju.edu.cn 开放时间： 学校正常上班时间 收费标准： 校外600元/小时 校内300元/小时 服务描述： ICP离子源：0-3000W RF射频源：0-600W装片系统：六英寸，向下兼容 基底刻蚀温度：0℃-200℃可调。 刻蚀气体：SF6、C4F8、O2、Ar可刻蚀材料包括：硅材料