返回上页 - 溅射硬质膜、金属膜、合金
服务收费：300元/次开机+450元/小时+材料费: 50元/10nm(Au及合金、Pd)或75元/10nm(Pt) 或50元/100nm
开放时间：学校正常上班时间
服务内容：1、配装3支Ф2英寸的磁控溅射靶，其中一支可镀铁磁材料. 2、磁控溅射靶射频（RF）、直流（DC）兼容.3、每只磁控溅射靶均配备挡板，基片配挡板.4、极限真空…
浙江省光电磁传感技术研究重点实验室
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