溅射硬质膜、金属膜、合金 联系人： 时尧成 电话： 88206516转113 邮件： yaocheng@zju.edu.cn 开放时间： 学校正常上班时间 收费标准： 300元/次开机+450元/小时+材料费: 50元/10nm(Au及合金、Pd)或75元/10nm(Pt) 或50元/100nm 服务描述： 1、配装3支Ф2英寸的磁控溅射靶，其中一支可镀铁磁材料. 2、磁控溅射靶射频（RF）、直流（DC）兼容.3、每只磁控溅射靶均配备挡板，基片配挡板.4、极限真空：5*10-5Pa；工作背景真空：7*10-4Pa . 5、基片尺寸≤Ф4英寸.6、基片可加热至500℃. 7、控制系统：PC+PLC全自动控制.