返回上页 - 化学气相沉积sio2
服务收费：校外600元/小时 校内300元/小时
开放时间：学校正常上班时间
服务内容：可沉积厚达十几个微米的SiO2； 淀积低应力SiN和SiON等介质膜； 淀积速率：>150nm/min(SiO2)；>100nm/min(SiN)； 厚…
浙江省光电磁传感技术研究重点实验室
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