等离子体刻蚀系统
服务收费：校内：1. InP: ≤1um 300元, 每增加1um加100元； 2. GaAs: ≤1um 400元, 每增加1um加100元以上为每单次刻蚀收费标准，多片按次数收费，多次刻蚀时样品成分不同需收取腔体清洁费用，每次清洁100元。其他成分样品价格按情况协商 校外：1. InP: ≤1um 400元, 每增加1um加150元； 2. GaAs:≤1um 500元, 每增加1um加150元以上为每单次刻蚀收费标准，多片按次数收费，多次刻蚀时每次清洁150元。
服务内容：编号:18018673；型号:ICP-150A；生产厂商:北京泰龙电子技术有限公司；原价:65.00；开始使用时间:2018-10-17；数量:1；