等离子体刻蚀系统 分类编码： 120399 英文名称： Plasma Etching System 规格型号： ICP-150A 所属单位： 浙江大学 仪器原值： 65.00(万元) 启用日期： 2018/10/17 生产厂商： 北京泰龙电子技术有限公司 产地国别： 中国 技术指标： 自动化传片机构：He背冷，水冷，控温腔室；标配6路进气；本底真空优于0.005Pa；射频电源功率1500W，频率13.56MHz；偏压电源功率500W，频率13.56MHz；6寸样品台<=+-5%的刻蚀均匀性。 功能及应用领域： 刻蚀石英/蓝宝石/Si/SiNX/SiO2/Al/GaAs/GaN/W/WSi/Mo/Ta/TaSi等 仪器联系人： 宋吉舟 联系人电话： 18757118983 邮政编码： 310027 电子邮件： jzsong@zju.edu.cn 参考收费标准： 校内：1. InP: ≤1um 300元, 每增加1um加100元； 2. GaAs: ≤1um 400元, 每增加1um加100元以上为每单次刻蚀收费标准，多片按次数收费，多次刻蚀时样品成分不同需收取腔体清洁费用，每次清洁100元。其他成分样品价格按情况协商 校外：1. InP: ≤1um 400元, 每增加1um加150元； 2. GaAs:≤1um 500元, 每增加1um加150元以上为每单次刻蚀收费标准，多片按次数收费，多次刻蚀时每次清洁150元。