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高分辨SEM电子束曝光系统

  • 分    类:分析仪器
  • 规格型号:高分辨电子显微镜(1kV, 1.4nm分辨);纳米图形生成器
  • 设备编号:17028714
  • 生产国别:捷克
  • 原价:215.02万元
  • 开始使用时间:2017/12/19
  • 所 在 地:杭州市 西湖区

服务收费:校内600元/小时;校外1200元/小时

联系信息

  • 联系人:程满
  • 联系电话:0571-88982793
  • 邮箱:chengm@zju.edu.cn
  • 邮编:310058

所属机构

浙江大学物理学系

机构基本信息

  • 地址:

主办单位:浙江省科学技术厅 承办单位:浙江省科技信息研究院 浙江天正信息科技有限公司 联系电话:0571-85214237 网站地图

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