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等离子增强化学气相沉积PECVD(无机)

  • 分    类:工艺实验设备
  • 规格型号:PD-220NL
  • 设备编号:WCMNF-2018-D001
  • 生产国别:日本
  • 原价:250.00万元
  • 开始使用时间:2018/8/23
  • 拥有数量:1
  • 所 在 地:

服务收费:校内600元/小时; 校外1200元/小时

联系信息

所属机构

先进微纳加工与测试平台

机构基本信息

  • 地址:中国浙江省杭州市西湖区云栖小镇石龙山街18号

主办单位:浙江省科学技术厅 承办单位:浙江省科技信息研究院 浙江天正信息科技有限公司 联系电话:0571-85214237 网站地图

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