返回上页 - 电子束镀各种硬质膜、金属膜
服务收费：300元/次开机+450元/小时+材料费
开放时间：学校正常上班时间
服务内容：1. 基片尺寸=Ф4英寸 2. 极限真空度：5×10-5Pa 3. 真空抽速：3*10-4Pa/20min 4. 衬底温度：350℃ …
浙江省光电磁传感技术研究重点实验室
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