电子束镀各种硬质膜、金属膜 联系人： 时尧成 电话： 88206516转113 邮件： yaocheng@zju.edu.cn 开放时间： 学校正常上班时间 收费标准： 300元/次开机+450元/小时+材料费 服务描述： 1. 基片尺寸=Ф4英寸 2. 极限真空度：5×10-5Pa 3. 真空抽速：3*10-4Pa/20min 4. 衬底温度：350℃ 5. 温度均匀性：±10℃ 6. 样平台转速：≤20r/min 7. 坩埚数量：4