等离子体刻蚀系统

• 分    类：工艺实验设备
• 规格型号：ICP-150A
• 设备编号：18018673
• 生产国别：中国
• 原价：65.00万元
• 开始使用时间：2018/10/17
• 拥有数量：1
• 所 在 地：杭州市 西湖区

服务收费：校内：1. InP: ≤1um 300元, 每增加1um加100元； 2. GaAs: ≤1um 400元, 每增加1um加100元以上为每单次刻蚀收费标准，多片按次数收费，多次刻蚀时样品成分不同需收取腔体清洁费用，每次清洁100元。其他成分样品价格按情况协商 校外：1. InP: ≤1um 400元, 每增加1um加150元； 2. GaAs:≤1um 500元, 每增加1um加150元以上为每单次刻蚀收费标准，多片按次数收费，多次刻蚀时每次清洁150元。