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等离子体刻蚀系统

服务收费:校内:1. InP: ≤1um 300元, 每增加1um加100元; 2. GaAs: ≤1um 400元, 每增加1um加100元以上为每单次刻蚀收费标准,多片按次数收费,多次刻蚀时样品成分不同需收取腔体清洁费用,每次清洁100元。其他成分样品价格按情况协商 校外:1. InP: ≤1um 400元, 每增加1um加150元; 2. GaAs:≤1um 500元, 每增加1um加150元以上为每单次刻蚀收费标准,多片按次数收费,多次刻蚀时每次清洁150元。

服务内容:编号:18018673;型号:ICP-150A;生产厂商:北京泰龙电子技术有限公司;原价:65.00;开始使用时间:2018-10-17;数量:1;

联系信息

  • 联系人:宋吉舟
  • 联系电话:18757118983
  • 邮箱:jzsong@zju.edu.cn
  • 邮编:310027

所属机构

浙江省软体机器人与智能器件研究重点实验室

机构基本信息

  • 地址:杭州市浙江大学航空航天学院应用力学所

主办单位:浙江省科学技术厅 承办单位:浙江省科技信息研究院 浙江天正信息科技有限公司 联系电话:0571-85214237 网站地图

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