浙江省3D微纳加工和表征研究重点实验室 实验室主任：仇旻教授 浙江省3D微纳加工和表征研究重点实验室于2019年2月正式获浙江省科技厅批准成立。实验室依托工学院先进微纳加工与测试平台以及校内与微纳技术相关的课题组和实验室共同建立。学术委员会成员由相关领域著名专家、学者担任。 研究内容和方向：结合微电子集成技术和微纳加工的未来发展方向，在利用现有平面加工工艺研制微纳结构和器件的同时，重点研究和开发3D微纳米加工与表征技术，通过这些技术在相关学科研究应用中探索学科交叉领域，开拓新的应用和研究方向。与此同时，通过开发和应用微纳加工新工艺、新装备和实现工艺、装备的产业化，为浙江在物联网+、生命健康等技术领域的创新发展奠定坚实的基础。