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工艺实验设备(2)
其他仪器(1)
物理性能测试仪器(1)
价格：按学校有关标准
描述：编号:0506661Q；型号:OMP-035/M；生产厂商:美国ZYGO公司；原价:150.00；开始使用时间:2005-12-31；
所在地：杭州市
单位：浙江大学光电科学与工程学院
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描述：编号:14004932；型号:ELPHY Quantum；生产厂商:Raith；原价:247.00；开始使用时间:2014-05-15；
描述：编号:0603742G；型号:Mesc Multipler；生产厂商:英国STS；原价:281.00；开始使用时间:2006-12-21；
描述：编号:0603743G；型号:MESC MULTIPLEN CND；生产厂商:英国STS；原价:223.00；开始使用时间:2006-12-21；
高性能干法刻蚀设备
干涉仪
PECVD镀膜机