服务名称：溅射硬质膜、金属膜、合金

联系人：时尧成

电话：88206516转113

开放时间：学校正常上班时间

收费标准：300元/次开机+450元/小时+材料费: 50元/10nm(Au及合金、Pd)或75元/10nm(Pt) 或50元/100nm

服务描述：1、配装3支Ф2英寸的磁控溅射靶，其中一支可镀铁磁材料. 2、磁控溅射靶射频（RF）、直流（DC）兼容.3、每只磁控溅射靶均配备挡板，基片配挡板.4、极限真空：5*10-5Pa；工作背景真空：7*10-4Pa . 5、基片尺寸≤Ф4英寸.6、基片可加热至500℃. 7、控制系统：PC+PLC全自动控制.

载体名称： 浙江省光电磁传感技术研究重点实验室

载体地址： 浙江大学紫金港校区东五楼 光及电磁波研究中心 

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