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返回 | 您正在向浙江省光电磁传感技术研究重点实验室发送关于服务类服务电子束曝光制作掩膜的预约订单。

预约提交后，如未及时收到答复，您可尝试联系下对应的服务联系人。

服务名称：电子束曝光制作掩膜

联系人：时尧成

电话：88206516转113

开放时间：学校正常上班时间

收费标准：校外1200元/小时校内600元/小时

服务描述：1.Accelerating voltage： 5~30 kV2.Minimum line width： 10 nm 3.Overlay Accuracy： 40 nm 4.Field stitching Accuracy: 20 nm 5.Exposure range：直径75 mm 6.Scan speed：12 MHz to 250 Hz

服务载体信息确认 [点击查看服务载体信息] 不符合创新券使用条件

载体名称：浙江省光电磁传感技术研究重点实验室

载体地址：浙江大学紫金港校区东五楼光及电磁波研究中心

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