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设备名称:电子束曝光系统
设备图片:
所属单位:浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
安放地址:浙江大学玉泉校区第三教学大楼一楼
仪器联系人:李强
联系人电话:0571-87953159
开放机时安排:周一上午
参考收费标准:校内:320元/时或按照分析测试中心标准;校外:700元/时或按照分析测试中心标准(收费管理小组第七十八次会议)
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