服务名称：化学气相沉积sio2

联系人：时尧成

电话：88206516转113

开放时间：学校正常上班时间

收费标准：校外600元/小时 校内300元/小时

服务描述：可沉积厚达十几个微米的SiO2； 淀积低应力SiN和SiON等介质膜； 淀积速率：>150nm/min(SiO2)；>100nm/min(SiN)； 厚度控制：从几十nm到6um都可精确控制。 均匀性好：<±3％；重复性好：<±3％；应力小：<300MPa；表面平整度、致密性好； 上下电极加热：上电极250℃，下电极300℃，可以减小侧壁和上电极沉积物的脱落。

载体名称： 浙江省光电磁传感技术研究重点实验室

载体地址： 浙江大学紫金港校区东五楼 光及电磁波研究中心 

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