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服务名称：He3原位输运测试系统性能测试
联系人：徐剑峰
电话：0573-82572558
开放时间：2018年1月1日至2021年12月31日
收费标准：210000/次
服务描述：腔体整体漏率；长度和角度误差；系统的极限真空度；氩离子枪的工作压强；刻蚀速率；器件刻蚀的最小线度；电极的间距和宽度；1K pot工作温度；氦3冷头提供的最低工作温度等性能测试。
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载体名称：
浙江清华柔性电子技术研究院
载体地址：
浙江省嘉兴市南湖区 
支持范围：
嘉兴市等4个地市的创新券可用