设备名称：等离子体刻蚀系统

设备图片： 

安放地址：杭州市浙江大学航空航天学院应用力学所

仪器联系人：宋吉舟

联系人电话：18757118983

参考收费标准：校内：1. InP: ≤1um 300元, 每增加1um加100元； 2. GaAs: ≤1um 400元, 每增加1um加100元以上为每单次刻蚀收费标准，多片按次数收费，多次刻蚀时样品成分不同需收取腔体清洁费用，每次清洁100元。其他成分样品价格按情况协商 校外：1. InP: ≤1um 400元, 每增加1um加150元； 2. GaAs:≤1um 500元, 每增加1um加150元以上为每单次刻蚀收费标准，多片按次数收费，多次刻蚀时每次清洁150元。

载体名称： 浙江省软体机器人与智能器件研究重点实验室

载体地址： 杭州市浙江大学航空航天学院应用力学所 

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