服务名称：对准接触式光刻制作掩膜

联系人：时尧成

电话：88206516转113

开放时间：学校正常上班时间

收费标准：校外600元/小时 校内300元/小时

服务描述：Wafer size： 2inch，4inch，6inch and un-normal small wafers Exposure mode：（Vac, hard, soft, proximity） Minimum line width：0.7μm（Vac） Overlay Accuracy： 0.5μm

载体名称： 浙江省光电磁传感技术研究重点实验室

载体地址： 浙江大学紫金港校区东五楼 光及电磁波研究中心 

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