设备名称：深反应刻蚀机

所属单位：浙江大学

联系人电话：057188981125

参考收费标准：校内：①深硅刻蚀500元/小时。②SiO2和Si3N4 250元/小时。 校外：①深硅刻蚀800元/小时。②SiO2和Si3N4 500元/小时。 注：30分钟为基本计时单元，不足30分钟以30分钟计算。

载体名称： 浙江大学

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