服务名称：电子束镀各种硬质膜、金属膜

联系人：时尧成

电话：88206516转113

开放时间：学校正常上班时间

收费标准：300元/次开机+450元/小时+材料费

服务描述：1. 基片尺寸=Ф4英寸 2. 极限真空度：5×10-5Pa 3. 真空抽速：3*10-4Pa/20min 4. 衬底温度：350℃ 5. 温度均匀性：±10℃ 6. 样平台转速：≤20r/min 7. 坩埚数量：4

载体名称： 浙江省光电磁传感技术研究重点实验室

载体地址： 浙江大学紫金港校区东五楼 光及电磁波研究中心 

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