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设备名称：ALD原子层沉积系统
所属单位：浙江大学
联系人电话：057188981125
参考收费标准：校内：基准费200元；Cr、Ni、Ti、Ge每100nm加100元；Al 每200nm加100元；Ag每200nm加300元；Pd每100nm加500元；Au每100nm加500元；Pt每100nm加800元。 校外：基准费400元；Cr、Ni、Ti、Ge每100nm加200元；Al 每200nm加200元；Ag每200nm加600元；Pd每100nm加1000元；Au每100nm加1000元；Pt每100nm加1600元。
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不符合创新券使用条件
载体名称：
浙江大学
载体地址：
