服务名称：原位多探针运输测量系统性能测试

联系人：徐剑峰

电话：0573-82572558

开放时间：2018年1月1日至2021年12月31日

服务描述：腔体的真空度；腔体的漏率；样品台加热效率；电样品台的控温精度；样品预处理温度；样品的最小线度；电极最小线度及间距；输运测量系统最低温度。

载体名称： 浙江清华柔性电子技术研究院

载体地址： 浙江省嘉兴市南湖区 

支持范围： 嘉兴市等4个地市的创新券可用

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