奖项等级：

一等奖

奖项类别：

科学技术奖

主要完成单位：

浙江工业大学 江苏智邦精工科技有限公司 湖南大学 湖南宇环同心数控机床有限公司 浙江智邦精工科技有限公司

主要完成人：

袁巨龙 吕冰海 邓乾发 赵文宏 赵萍 陆惠宗 陈明 熊万里 邓朝晖 戴瑜兴 彭光清 葛莹莹 许亮

高性能超精密平面零件是微电子系统、光电系统、精密仪器设备中的关键基础元件，其加工质量决定了光-机-电系统的整体性能。化学机械抛光（CMP）是获得超精密高性能平面的关键加工工序，但是传统CMP技术普遍存在：抛光易造成划痕表面损伤、抛光盘平面精度难以保持、抛光效率低、化学抛光液对环境有污染等一系列难题。 本项目对超精密平面抛光基础理论、关键技术和装备开展了系统的研究和开发工作，并取得了重要突破： （1） 发明了半固着软质磨粒CMP技术，建立了对环境无污染的高效无损伤抛光工艺，抛光效率比传统CMP技术提高6倍。 （2） 创立了抛光均匀性分析评价方法，开发了抛光盘平面精度保持技术和在线修整技术，保证了平面加工精度的稳定性。 （3） 开发了抛光速度、抛光压力、抛光盘转角等抛光工艺参数精确控制技术、抛光工艺专家数据库，以及创新的精密机械结构，保证了抛光质量的稳定性。 （4） 综合集成以上关键技术成果，研制了自动化程度高、加工质量稳定性好的超精密平面抛光机系列产品。 本项目已获国家授权发明专利8项、实用新型专利5项、软件著作权3项。出版专著1部，发表论文被SCI收录20篇、EI收录130篇。培养博士生12人、硕士生20人。本项目开发的系列超精密抛光机产品已实现规模化生产，整体技术达到国际先进水平，并替代进口，成功地在通讯、光电、精密机械等领域的四十余家单位推广应用，实现了玻璃平板、硅片、蓝宝石基片、石英晶片等高性能超精密平面零件的批量加工，其中，有1700多台抛光机用于苹果公司iPhone，iPad 玻璃平板的大批量生产。近三年累计创造直接经济效益2.2亿元，新增利税5233.5万元，取得了显著的经济和社会效益。 本项目在超精密平面抛光技术领域形成了自主知识产权体系，攻克了超精密平面零件批量加工的一系列关键技术难题，并取得多项原创性成果，打破了国外垄断局面，对于促进我国超精密平面零件加工行业的科技进步，提升光、电、信息器件的制造水平，增强产品的国际竞争力具有重要意义。