奖项等级：

一等奖

奖项类别：

科学技术奖

主要完成单位：

温州大学 温州百岸汽车零部件有限公司 瑞安市博业激光应用技术有限公司 浙江嘉泰激光科技有限公司 山东大学 中国科学技术大学

主要完成人：

孙树峰 薛伟 王萍萍 万熠 李峰平 黄文浩 李家文 王翔 张淼 周斯加 王舜 吴旭浩 蔡丰勇

针对微机电系统(MEMS)零部件的加工需求， 项目提出 “基于激光微纳加工的MEMS零部件低成本批量制造关键技术及其应用” 研究课题， 研究掌握的主要内容有： （1） 搭建了激光精密微纳加工系统， 通过大量理论和加工试验研究制造了多种MEMS零件， 形成了能够指导工程应用的MEMS零件激光高效精密自动加工工艺， 掌握了利用激光加工MEMS零件母模， 利用微电铸、 微注塑和微压印实现不同材质零件低成本批量制造的关键工艺； （2） 采用非均匀有理B样条 （NURBS） 设计MEMS零部件， 提高了设计精度， 开发出NURBS插补运动控制软件用于激光加工设备， 提高了激光加工精度。 （3） 在零件上利用激光熔覆建立保护层， 再进行微槽和微孔切削加工， 由于零件表面在保护层的覆盖下变成内部材料， 因此毛刺形成于槽口保护层边沿，最后利用激光熔化去除保护层， 得到没有毛刺的零件。 （4） 掌握了利用超快脉冲激光直接加工高质量微孔的技术及工艺； 利用激光制造微细电极， 然后分别利用EDM、 EDM/ECM、 磨粒辅助EDM/ECM复合加工技术加工高质量微孔的技术及工艺。项目获授权专利9项， 其中发明专利7项， 发表学术论文23篇， 项目合作完成单位近三年创造直接经济效益1.7亿元。由同行专家组成的鉴定委员会认为： 该项目在基于激光微纳加工的MEMS零部件制造领域做出了重要的创新性成果， 获得多项发明专利， 其技术达到国内领先水平。