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| 扫描电子显微镜 |
| 分类编码： | 010102 | | 英文名称： | SEM | | 规格型号： | SU-1510 | | 所属单位： | 浙江大学工业技术转化研究院 | | 仪器原值： | 87.63(万元) | | 启用日期： | 2013/10/17 | | 生产厂商： | 日立 | | 产地国别： | 日本 | | 技术指标： | 分辨率 5nm 放大倍数 10~30万倍 样品类型 SiC/Si 半导体芯片 成像模式 二次电子像、背散射像 最大样品尺寸 直径100mm 最大样品厚度 50mm 图像格式 BMP、TIFF、JPEG | | 功能及应用领域： | 扫描电子显微镜利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等，根据上述不同信息产生的机理，采用不同的信息检测器，使选择检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集，可得到有关物质微观形貌的信息；对x射线的采集，可得到物质化学成分的信息。 | | 仪器联系人： | 郭清 | | 联系人电话： | 0512-66806810 | | 电子邮件： | jiyijingqust@163.com | | 参考收费标准： | 800元/小时 |
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