对准接触式光刻制作掩膜 联系人： 时尧成 电话： 88206516转113 邮件： yaocheng@zju.edu.cn 开放时间： 学校正常上班时间 收费标准： 校外600元/小时 校内300元/小时 服务描述： Wafer size： 2inch，4inch，6inch and un-normal small wafers Exposure mode：（Vac, hard, soft, proximity） Minimum line width：0.7μm（Vac） Overlay Accuracy： 0.5μm