超精密三轴气浮运动平台 分类编码： 029900 英文名称： 无 规格型号： MSAH-0320-0320-0150 所属单位： 嘉兴学院 仪器原值： 40.00(万元) 启用日期： 2020/12/30 生产厂商： 中国 产地国别： 中国 技术指标： X轴行程≥320mm，定位精度≤±250nm，重复定位精度≤±100nm，分辨率≤0.3nm，最小移动步距≤50nm，直线度≤±1μm，平面度≤±1μm， Pitch/Yaw≤±1arc sec，最大速度≥500mm/s，速度均匀性≤0.05%(500mm/s），加速度≥0.5g，最大负载≥50Kg； 功能及应用领域： 微型机电系统的制造和检测、光学测量加工领域、超精密机械加工、纳米表面形貌测量、微纳米多层打印、微光刻技术等。 仪器联系人： 宋海军 联系人电话： 15726933761 邮政编码： 314001 电子邮件： 840547085@qq.com 参考收费标准： 50/小时