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| 超高真空多功能溅射设备 |
| 分类编码： | 990000 | | 英文名称： | Ultra-high vacuum magnetron sputtering equipment | | 规格型号： | JGP500D1 | | 所属单位： | 数理信息学院 | | 仪器原值： | 50.99(万元) | | 启用日期： | 2004/6/22 | | 生产厂商： | 沈阳科学仪器研制中心 | | 产地国别： | 中国 | | 技术指标： | 真空度：1*10^-4 pa | | 功能及应用领域： | 金属薄膜、氧化物薄膜制备 | | 仪器联系人： | 窦卫东 | | 联系人电话： | 13735270560 | | 邮政编码： | 312000 | | 电子邮件： | phyth@usx.edu.cn | | 参考收费标准： | 1000/样，自带靶材及基底 |
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