氦离子成像显微镜 |
分类编码: | 010899 | 英文名称: | Helium ion microscopy | 规格型号: | ORION NanoFab | 所属单位: | 浙江省3D微纳加工和表征研究重点实验室 | 仪器原值: | 1400.00(万元) | 启用日期: | 2018/8/23 | 生产厂商: | Zeiss | 产地国别: | 德国 | 服务领域: | 材料,生物医学,电子与测量 | 技术指标: | 1. 氦离子束:分辨率≤ 0.5 nm, 加速电压10-30 kV,束流强度0.1 pA- 100 pA; 2. 氖离子束:分辨率≤ 1.9 nm, 加速电压10-25kV,束流强度0.1 pA - 50 pA; 3. 镓离子束:分辨率≤ 3nm, 加速电压1-30 kV,束流强度1 pA - 100 nA; 4. 成像模式:二次电子。 | 功能及应用领域: | 1. 可以快速加工纳米结构,加工精度10nm; 2. 电子束曝光; 3. 沉积材料:Pt、W、H2O等; 4. 微观形貌观察。 | 仪器联系人: | 李西军 | 联系人电话: | 0571-88119591 | 邮政编码: | 310024 | 电子邮件: | lixijun@westlake.edu.cn | 参考收费标准: | 校内1200元/小时; 校外2400元/小时 |
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