氦离子成像显微镜
分类编码:010899
英文名称: Helium ion microscopy
规格型号:ORION NanoFab
所属单位:浙江省3D微纳加工和表征研究重点实验室
仪器原值:1400.00(万元)
启用日期:2018/8/23
生产厂商:Zeiss
产地国别:德国
服务领域:材料,生物医学,电子与测量
技术指标:1. 氦离子束:分辨率≤ 0.5 nm, 加速电压10-30 kV,束流强度0.1 pA- 100 pA; 2. 氖离子束:分辨率≤ 1.9 nm, 加速电压10-25kV,束流强度0.1 pA - 50 pA; 3. 镓离子束:分辨率≤ 3nm, 加速电压1-30 kV,束流强度1 pA - 100 nA; 4. 成像模式:二次电子。
功能及应用领域:1. 可以快速加工纳米结构,加工精度10nm; 2. 电子束曝光; 3. 沉积材料:Pt、W、H2O等; 4. 微观形貌观察。
仪器联系人:李西军
联系人电话:0571-88119591
邮政编码:310024
电子邮件:lixijun@westlake.edu.cn
参考收费标准:校内1200元/小时; 校外2400元/小时