测试台阶高度
联系人:时尧成
电话:88206516转113
邮件:yaocheng@zju.edu.cn
开放时间:学校正常上班时间
收费标准:30元/点
服务描述:1、扫描长度:55mm; 2、垂直测量范围:524um(标准),最大可达1mm; 3、台阶高度重现性6Å, 1 在1um台阶上; 4、垂直分辨率:1Å,(6.55um范围) ; 5、探针压力:1-15mg,最小可达1mg; 6、探针曲率半径:0.2-25um,超细探针50nm; 7、样品台尺寸:150mm,可360°旋转。