预真空室系统 分类编码： 120304 英文名称： 无 规格型号： si 500 ll 所属单位： 浙江大学工业技术转化研究院 仪器原值： 104.63(万元) 启用日期： 2013/10/29 生产厂商： sentech 产地国别： 德国 技术指标： 真空系统： 1 高真空泵：涡轮分子泵（世界知名品牌生产），防腐蚀设计，抽速不小于1200升/秒。 2 前级泵：机械泵或干泵，防腐蚀设计 3 本底真空：< 1 × 10-6 mbar 4 节流阀，DN 200 5 带薄膜电容真空计和Penning真空规。 预真空室： 1 符合SEMI-MESC标准，通过闸阀与反应腔室连接。 2 配置气动传输机构、传送样品平稳、安全；顶盖透明。 3 配置干泵，抽速> 10米3/小时，本底真空< 10Pa。 4真空漏率< 5 x 10-3 mbar？l/s 功能及应用领域： 主要功能：拟购买的SiC loadluck及其真空系统, 本底真空可达1 × 10-6 mbar 以下，为高等院校、科研院所实验室样品载入和取出，广泛应用于半导体/机械/金属材料加工分析、半导体芯片制造等领域。本实验室研发设计碳化硅芯片并流片制造，制造过程的多道工序要求对碳化硅晶圆进行多次工艺设备间流片，需要SiC loadluck及其真空系统。 仪器联系人： 郭清 联系人电话： 0512-66806810 电子邮件： jiyijignqust@163.com 参考收费标准： 600元/小时