等离子增强化学气相沉积系统 分类编码： 120304 英文名称： PECVD 规格型号： depolab 200 所属单位： 浙江大学工业技术转化研究院 仪器原值： 136.23(万元) 启用日期： 2013/10/28 生产厂商： sentech 产地国别： 德国 技术指标： 1) 平板尺寸：8” 2) 源直径：5”或8” 3) 气体输入管数量：4（两个反应气，一个载气，一个排空管） 4) 源距平板的距离：2”或者可调 5) 真空：低于E-7Torr，200L/sec涡轮分子泵及3.5cfm机械泵组合 6) 最大平板温度：400℃ 7) 射频电源供应：600W，13.5MHz 8) 射频偏压：300W，13.5MHz 功能及应用领域： 等离子增强化学气相沉积系统能够沉积高质量的直径可达8寸的SiO2薄膜、Si3N4薄膜、类金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜、太阳能电池薄膜等。 仪器联系人： 郭清 联系人电话： 0512-66806810 电子邮件： jiyijingqust@163.com 参考收费标准： 工艺时间 600元/小时