聚焦离子束纳米制备和加工系统 分类编码： 120304 英文名称： CrossBeam Workstation FIB-SEM 规格型号： Quanta 3D FEG 分　　类： 工艺实验设备 所属单位： 光电科学与工程学院 仪器原值： 628.00(万元) 启用日期： 2011/10/16 生产厂商： 德国Carl Zeiss公司 产地国别： 德国 安放地址： 浙大路38号 技术指标： 可用于电子束高分辨成像（0.8nm@15kv）、离子束高分辨成像（2.5nm@30kv）观察纳米材料的表面形貌，可进行纳米级别复杂图案加工，包括离子束切割、电子束与离子束沉积等，可制备特殊的纳米结构。 功能及应用领域： "可用于电子束高分辨成像（0.8nm@15kv）、离子束高分辨成像（2.5nm@30kv）观察纳米材料的表面形貌，可进行纳米级别复杂图案加工，包括离子束切割、电子束与离子束沉积等，可制备特殊的纳米结构。 " 仪器联系人： 陈老师 联系人电话： 87953365 邮政编码： 310027 电子邮件： chen_ly126@zju.edu.cn 开放机时安排： 周一至周五 参考收费标准： 校内：1200元/小时；校外：1800元/小时