形状测量激光显微镜 分类编码： 030403 英文名称： 无 规格型号： ZCEC-150164F ZCEC-150164F 分　　类： 计量仪器 仪器原值： 82.55(万元) 启用日期： 2015/10/27 生产厂商： 日本基恩士 产地国别： 中国 技术指标： 1、所提供机型为正置分体式结构，测量部与载物台可以分离，便于安装到大平台上使用，采用针孔共聚焦点模式工作。2、 焦点信号采集采用16Bit光电倍增管。3、 Z向显示分辨率不低于0.005 um，重复精度（δ）小于等于0.020um。4、物镜：X10，X20，X50，X100 。5、多文件统一分析比对处理系统。6、 具备面扫描和线扫描两种扫描方式，面扫描速度不低于100Hz、线扫描速度不低于7000Hz。7、带镜头自校准机构。 8、具备智能IA-SCAN模式、RPD算法寻找焦点模式，不需要上下 功能及应用领域： 可以采用3D观.测模式，对被测物形状，粗糙度，表面积等进行测量，可以做高度、宽度、横截面、角度、R值、表面积、提交、线粗糙度等的测量分析。同时可以做材料学科材料断口、金相的观测，陶瓷、微流道、微加工，现代加工制造，MEMS研究，微纳制造等。 仪器联系人： 龚老师 联系人电话： 15068153177 邮政编码： 310027 电子邮件： sysb@zju.edu.cn 参考收费标准： 详情请联系仪器负责人