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| 磁控溅射镀膜机 |
| 分类编码： | 120302 | | 英文名称： | Magnetron sputtering System | | 规格型号： | ATC-2200-UHV | | 分 类： | 工艺实验设备 | | 所属单位： | 杭州电子科技大学磁电子中心 | | 仪器原值： | 173.00(万元) | | 启用日期： | 2016/7/12 | | 生产厂商： | 纳德 | | 产地国别： | 美国 | | 技术指标： | 背底真空10^-6Pa，晶圆尺寸4”，靶枪×8 | | 功能及应用领域： | 纳米薄膜镀层制备 | | 仪器联系人： | 骆泳铭 | | 联系人电话： | 17788586238 | | 邮政编码： | 310018 | | 电子邮件： | ymluo@hdu.edu.cn | | 参考收费标准： | 0 |
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