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高分辨单色化X射线光电子能谱仪 |
分类编码: | 010104 |
英文名称: | X-ray photoelectron spectroscopy, XPS |
规格型号: | Thermo Scientific/ESCALAB Xi+ |
所属单位: | 西湖大学 |
仪器原值: | 520.00(万元) |
启用日期: | 2019/12/27 |
生产厂商: | Thermo Scientific |
产地国别: | 英国 |
技术指标: | 1、本底真空度优于5*10-10mbar; 2、单色化AlKαX射线源,光斑尺寸200-900um,大光斑极限分辨率0.43eV; 3、XPS能谱分析尺寸20-900um,平行成像精度1um; 4、双极性半球形分析器,可采集ISS离子散射谱,能量分辨率优于12eV; 5、配备同轴/离轴双电子枪,可用于磁性和非磁性绝缘样品的荷电中和测量,最佳能量分辨率0.68eV; 6、配有Ar离子刻蚀和团簇离子刻蚀,可用于不同敏感性材料的深度剖析; 7、配有反射电子能量损失谱(REELS),可用于氢元素的定量分析; 8、配有俄歇光电子能谱分析(AES),空间分辨率可达95nm,并能够实现相应的形貌表征功能(SEM)。 |
功能及应用领域: | 1. 该系统通过测量不同元素的芯能级,能够实现高精度的元素和价态分析。 2. 该系统使用X-射线作为光源,能够采集较大束缚能范围的光电子能谱数据,实现对材料电子结构的完整表征。 3. 该系统具备微区分析功能,可以针对微米级别的特定区域开展元素组分与电子结构分析,是目前观测薄膜样品元素和价态分布,进而探索其生长机理最有力的工具之一 |
仪器联系人: | 朱思源 |
联系人电话: | 0571-88119556 |
邮政编码: | 310024 |
电子邮件: | zhusiyuan@westlake.edu.cn |
参考收费标准: | 请联系咨询 |