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椭偏光谱仪
分类编码:020306
英文名称:Spectroscopic Ellipsometry
规格型号:Uvisel/
分  类:物理性能测试仪器
所属单位:浙江省现代计量测试技术与仪器重点实验室
仪器原值:89.99(万元)
启用日期:2015/6/4
生产厂商:Horiba Jobin YVON S.A.S
产地国别:日本
技术指标:扫描波长190nm~2100nm; 标准片测量偏差-0.23A 折射率偏差-0.002 变角度测量
功能及应用领域:测量薄膜材料的折射率、折射率、吸收系数
仪器联系人:张颖萍
联系人电话:13777410866
邮政编码:310018
电子邮件:zhangyingping@cjlu.edu.cn
参考收费标准:校内:50元/样(仅厚度) 75元/样(厚度、n、k),校外:100元/样(仅厚度) 150元/样(厚度、n、k)