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扫描俄歇探针 |
分类编码: | 010103 | 英文名称: | | 规格型号: | PHI600 | 分 类: | 分析仪器 | 所属单位: | 中国兵器科学研究院宁波分院 | 仪器原值: | 196.66(万元) | 启用日期: | 1983/11/1 | 生产厂商: | 美国PE公司 | 产地国别: | 美国 | 安放地址: | | 技术指标: | (1) 对于二次电子、吸收电流及背散射电子图象观察时,放大倍数为10万倍;分辨率≥35nm。 (2) 用俄歇电子信号进行微区成份分析,包括点分析、线扫描分析、面分布分析、氩离子枪溅射深度剖面分析时,元素分析范围为:L | 功能及应用领域: | 材料表面≤2nm厚度化学元素及分布状态分析。金属、半导体、复合材料等界面化学元素偏聚分析。表面化学过程(如腐蚀、钝化、催化、晶间腐蚀、氧化等)研究。 | 仪器联系人: | 李岩 | 联系人电话: | 87902345 | 电子邮件: | | 开放机时安排: | 周一到周五 | 参考收费标准: | |
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