离子束刻蚀机
英文名称：
Ion bean etcher
规格型号：
lkj-id-150
所属单位：
苏州大学
仪器原值：
58.72(万元)
启用日期：
2006/5/5
生产厂商：
北京埃德金
产地国别：
CHN.中国
安放地址：
中国,江苏省,苏州市,相城区
技术指标：
离子口径150.200EV-600EV
功能及应用领域：
表面清晰抛光致膜
仪器联系人：
吴祺昶
联系人电话：
025-85485877