原子层化学气相淀积系统 英文名称： Atomic layer deposition 规格型号： SUNALER-150 所属单位： 苏州科技大学 仪器原值： 163.00(万元) 启用日期： 2013/10/21 生产厂商： Picosun Oy 产地国别： FIN.芬兰 安放地址： 中国,江苏省,苏州市,虎丘区 技术指标： 适合沉积纳米层状薄膜（2-200nm） 功能及应用领域： 可以沉积二元、三元或更多元薄膜、梯度薄膜、（纳米）叠层、掺杂薄膜 仪器联系人： 吴祺昶 联系人电话： 025-85485877