脉冲激光溅射沉积系统 |
分类编码: | 140101 | 英文名称: | Pulsed laser sputtering deposition system | 规格型号: | PLD-450 | 所属单位: | 安徽大学 | 仪器原值: | 56.00(万元) | 生产厂商: | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心 | 产地国别: | 中国 | 安放地址: | 安徽大学物理与材料科学院理工E楼 | 技术指标: | 真空室:球型真空室尺寸直径为450mm,极限真空:6.67*10-6Pa,衬底温度<800度。 | 功能及应用领域: | 氧化物薄膜样品的制备 | 仪器联系人: | 李广 | 联系人电话: | 13615513501 | 邮政编码: | 230601 | 电子邮件: | 275409371@qq.com | 参考收费标准: | 200元/小时 |
|