脉冲激光溅射沉积系统
分类编码:140101
英文名称:Pulsed laser sputtering deposition system
规格型号:PLD-450
所属单位:安徽大学
仪器原值:56.00(万元)
生产厂商:中国科学院沈阳科学仪器研制中心
产地国别:中国
安放地址:安徽大学物理与材料科学院理工E楼
技术指标:真空室:球型真空室尺寸直径为450mm,极限真空:6.67*10-6Pa,衬底温度<800度。
功能及应用领域:氧化物薄膜样品的制备
仪器联系人:李广
联系人电话:13615513501
邮政编码:230601
电子邮件:275409371@qq.com
参考收费标准:200元/小时