电子束蒸发仪 规格型号： ABGCZD11036 所属单位： 浙江大学 生产厂商： 加拿大Angstrom Engineering Inc 技术指标： 1. 蒸镀薄膜种类： 金属：Au、Pt、Ni、Ti、Cr、W、Mn、Ag、Sn等。 介质材料：Al2O3、SiO2、SiO等。 2.抽气速度：正常情况，30min由ATM到1.0×10-5torr，但目前只能到4.0×10-5torr。 3.极限真空度：应该达到5×10-7torr，但目前只能达到5×10-6torr。 4.样品尺寸：4英寸或小于4英寸。 5.电阻式蒸发源：1个。 6. 电子束蒸发源：1个，有6个坩锅，电子枪最大功率10kW。 7.一次可蒸镀7种不同材料的膜系。 8.配INFICON膜厚监控仪，可实时精确监控膜厚和蒸发速率。 功能及应用领域： 可沉积各种金属材料包括难熔金属、介质材料的高纯度、高质量薄膜样品。 联系人电话： 057188981125 参考收费标准： 校内：300元/小时。贵金属如Au等根据市场价格按实际消耗量额外据实结算。 校外：600元/小时。贵金属如Au等根据市场价格按实际消耗量额外据实结算。 注：30分钟作为最小计时单位，不足30分钟部分按30分钟计算。