垂直连续式高真空溅镀生产线 分类编码： 129900 规格型号： FSE-ILSV-RD-450 所属单位： 中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司/洛阳浮法玻璃集团有限责任公司 仪器原值： 467.02(万元) 生产厂商： 台湾富临科技工程股份有限公司 产地国别： 中国台湾 安放地址： 安徽省蚌埠市龙子湖区东海大道751号 技术指标： 基片最大尺寸：356mm × 406mm 溅射室极限真空：<1×10-6Torr within 8hrs 排气性能： <9×10-5Torr within 30min 基片加热：最高温度400℃，均匀性±5%以内 溅射阴极：平面阴极3条 500mm(H)×125mm(L)×9mm(T) 旋转阴极2对 500mm(H)×133mm(ID) 溅射电源：直流电源（10kW），中频电源（10kW） 功能及应用领域： 低辐射膜、集热膜、消影膜、透明导电膜、减反膜等各种功能性薄膜材料的研究和开发； 薄膜太阳能电池中各种功能薄膜的开发，包括背电极简化工艺、窗口层与缓冲层的界面优化、预置层结构及组分的研究等。 仪器联系人： 王友乐 联系人电话： 0552-4074308 邮政编码： 233000 电子邮件： 13955284930@163.com 参考收费标准： 面议