磁控溅射镀膜系统 英文名称： Magnetron sputtering coating system 规格型号： 真空室，进样室，真空系统，工艺气体控制，溅射靶枪，35mm镍靶材，电源，工件台， 所属单位： 南京邮电大学 仪器原值： 206.19(万元) 启用日期： 2016/12/12 生产厂商： Kurt J.Lesker Company 产地国别： USA.美国 安放地址： 中国,江苏省,南京市,鼓楼区 技术指标： 17 磁控溅射镀膜系统 真空室，进样室，真空系统，工艺气体控制，溅射靶枪，35mm镍靶材，电源，工件台， 82.5 其他仪器 测试频率1-18GHZ，待测尺寸低于45cm的单元天线和阵列天线 电子、通信与自动控制技术 300 0 0 "Peter中心 " 王永进 18951896084 功能及应用领域： 无 仪器联系人： 吴祺昶 联系人电话： 025-85485877