光谱式椭偏仪 英文名称： Spectroscopic Ellipsometer 规格型号： GES5E 所属单位： 苏州大学 仪器原值： 84.00(万元) 启用日期： 2013/1/6 生产厂商： Semilab 产地国别： HUN.匈牙利 安放地址： 中国,江苏省,苏州市,吴中区 技术指标： 光谱范围：深紫外，可见光，近红外（190nm~2400nm）波长分辨率：全谱段要求不大于0.5nm 厚度测量范围:1nm-10um, 厚度测量精度:0.1A 微光斑全自动操作 功能及应用领域： 测量各类（包括电介质、有机物、半导体、金属等）薄膜（包括透明基底上的透明薄膜）的膜厚及介电常数（n，k）、组分比等；对材料的各向异性、多层膜、膜层致密性、多孔材料、高分子薄膜等特殊结构的材料具有光学性能的分析能力，可以测量薄膜的反射率、透射率、各向异性、双折射、散射、偏振、Muller矩阵等 仪器联系人： 吴祺昶 联系人电话： 025-85485877