电子束蒸发仪 分类编码： 120302 英文名称： 无 规格型号： System 02155 分　　类： 工艺实验设备 所属单位： 浙江大学信息与电子工程学院 仪器原值： 95.00(万元) 启用日期： 2013/11/28 生产厂商： Angstrom Engineering Inc. 产地国别： 加拿大 技术指标： 一个具有6个坩埚的电子束蒸发源，一个电阻式蒸发源，能在一个工艺流程沉积7种材料；电子枪最大加速电压10kV，最大束流1A；薄膜厚度最小1纳米，均匀度<±5%；衬底最大直径6 ；可以手动或自动控制生长速率；极限真空<5×10E-6乇。 功能及应用领域： 沉积金属和非金属薄膜，特别是高熔点材料薄膜；可以一次完成多层膜系的沉积。 仪器联系人： 周老师 联系人电话： 0571-88208991 邮政编码： 310000 电子邮件： eqzhou@zju.edu.cn 参考收费标准： 按学校有关标准